1.申請設置許可證:
(1)申請表。
(2)技師簽證之空氣污染防制計畫。
(3)監測設施設置計畫書。
2.申請操作許可證:
(1)申請表。
(2)目的事業主管機關核准設立、登記或營運之相關證明文件影本。
(3)新設者請檢附空氣污染防制計畫差異說明書。
既設者請檢附空氣污染防制設施說明書。
(4)試車計畫書(含檢測計畫)。
(5)新設者應實施環境影響評估之固定污染源,應檢附審查通過之環境影響說明書、評估書所載內容及審查結論。
(6)監測措施說明書。
(7)連線計畫書。
(8)連線確認報告書。
(9)監測設施確認報告書。